Công nghệ thấm Nitơ-Plasma bắt đầu được nghiên cứu từ sau chiến tranh thế giới thứ II tại Mỹ. Năm 1950, nhà vật lý Dr Claude Jones và Dr. Derek Sturges, cùng với Stuart Martin phát triển công nghệ thấm Nitơ ion đầu tiên ở Mỹ. Từ đó ứng dụng công nghệ thấm Nitơ-Plasma để thay đổi tính chất của vật liệu và chi tiết máy. Ngày nay thấm Nitơ ion được áp dụng rộng rãi trên thế giới cho hầu hết các mác thép và gang. Ở VIệt Nam hiện nay cũng đã và đang được đầu tư và nghiên cứu về công nghệ này.

     Dưới đây là một số thông tin về thiết bị và ứng dụng của công nghệ thấm Nitơ - Plasma đã và đang được tiến hành tại Phòng thí nghiệm trọng điểm Công nghệ Hàn và Xử lý bề mặt - Viện Nghiên cứu Cơ khí - Bộ Công Thương